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  • CIF掃描電鏡等離子清洗機

      CIF 掃描電鏡(SEM)等離子清洗機采用遠程、原位雙等離子清洗源設計,并可自動切換,一機多用。遠程等離子體清洗快速高效低轟擊損傷,同時可實現常規等離子清洗。主要用于SEM或FIB等電鏡腔體內碳氫化合物的清洗。
    1. 詳細信息

    圖片5.jpg


    產品特點

    雙等離子清洗源

    一機多用

    高效低損傷

     

    技術參數

    產品型號

    CIF-SEM

    法蘭接口

    KF40CF40

    工作氣壓

    0.3-3Pa

    等離子電源

    13.56MHz射頻電源,射頻功率5-150W可調,


    遠程等離子源,自動匹配器

    氣體控制

    標配單路質量流量計(MFC)可選雙路。50毫升/分,自動控制氣體流量,不會受環境溫度和壓力變化影響

    氣源選擇

    根據需求氧氣、氬氣、氮氣、氫氣等多種清洗氣源選擇

    真空控制

    美國MKS公司925-12010皮拉尼真空計,測量范圍1E-5Torr

    真空保證

    真空計和電磁閥安全互鎖

    操控方式

    7寸全彩觸摸屏控制,中英文互動操作界面

    電源/功率

    220V,50/60Hz,300W

    可選配件

    可選氧氣、氮氣、氫氣發生器, 氫氣純度﹥99.999%,輸出流量0-300ml/min 

    質量保證

    二年質保,終身維護


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